达谊恒精密机械(常熟)有限公司
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SPR-8535
   详细介绍
4轴圆柱坐标型
SPR-8535的特点
1 采用AC伺服马达以及最适合的加减速控制,实现高精度、高速搬运。
2 采用高刚性手臂,可以对应mask搬运等,也可以对应重物的搬运。
3 有能够对应高温工艺的优越的冷却装置体系 。
4 采用滑动结构搬送基板,实现高精度直进性和长行程。
   参数详解 ※1
机器人形状  4轴圆柱坐标型
重量  2650kg
可搬质量              
(含endeffector·holder)
X1  80kg以下
X2  120kg以下
动作范围 X轴  3250mm
θ  340deg.
Z  820mm
动作时间                  (不含通信时间) X轴  2.4sec./3250mm
θ  3.1sec./180deg.
Z  2.2sec./820mm
手臂水平精度(下垂)  P-P 10mm以下(安装holder,从法兰盘开始2900mm的位置)
手臂轨迹精度(蛇行)  ±5mm以下(安装holder,从法兰盘开始2900mm的位置)
重复位置精度  XY方向:±1.0mm以下
 Z方向:±0.5mm以下
(安装holder,从法兰盘开始2900mm的位置)
清洁度  ISO Class 4
耐真空度  1.33×10-5Pa
周围温度  X轴:20℃~160℃
 θZ軸:15℃~80℃
耐振动  4.9m/sec.²以内(0.5G以下)
面板搬运机械手(真空)
可搬重量 LCD尺寸 Single Arm Dual Arm
无Z轴 有Z轴 Link Slide
3kg G3SPR-801S SPR-804S    
10kg G4SPR-806S      
15kg G4.5SPR-811S SPR-8110 pdf    
50kg G5   SPR-8109 pdf SPR-8501S  
G6     SPR-8522 pdf  
70kg G6    SPR-8508  
100kg G7   SPR-8111 pdf    
150kg G6 SPR-8112 pdf  SPR-8504  
G6       SPR-8537 pdf
G7.5      SPR-8535
200kg G8.5       SPR-8534 pdf
300kg       SPR-8524 pdf
500kg G10        

(有生产实际)

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