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UTVW-R2800H
   详细介绍
UTVW-R2800H的特点 
1 旋转轴采用DD马达,可进行高精动作
2 可搬运2kg,较重产品也可搬运
   参数详解 ※1

型号 Model  UTVW-R2800H
机械手臂形状 Robot Type  4轴圆坐标型 4 axis Cylindrical Coordinate

动作范围

Operation Range

X-axis  680mm
θ-axis  330°
Z-axis  50mm

最大动作速度

Max. Operation Speed

X, A-axis
 120°/sec
θ-axis  80°/sec
Z-axis  37.5mm/sec
分解能力       
Resolution
X, A-axis
 0.001mm/pulse or less
θ-axis  0.001°/pulse
Z-axis  0.001mm/pulse
往复位置精度 Repeatability  XYZ方向:各±0.1mm
可搬运重量 Payload  2kg (含手爪   including E/E)
洁净度 Cleanliness  ISO Class 3 (ISO-14644)
本体重量 Mass  85kg
必要设施 Facilities 电源 Power  Single phase 200-220±10% VAC 3A
设置环境 Environment 温度 Temperature  15-40℃ (Atmosphere side)/15-80℃ (Vacuum Seal Unit)
湿度 Humidity  Atmospheric pressure ~ 10-6Pa
※1 追加选配的情况下,搬运性能与标准不一样。

                晶圆搬运机械手(真空)
                                 Substrate Size                Arm Model
                Wafer                200~300mm

UTV-R2700H 
UTV-RS2600W
UTVW-R2800H pdf


(有生产实际)

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