达谊恒精密机械(常熟)有限公司
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UTV-RS2600W
   详细介绍
4轴圆柱坐标型
UTV-RS2600W系列的特点
1 使用AC伺服马达,高精度,高速度。
2 旋转半径小,对cluster tool的小型化作出了贡献。
3 符合RoHs指令规定。
   参数详解 ※1

形号

 UTV-RS2600W

 UTV-RS2620W

机器人形状

 4轴圆柱坐标型

动作范围

X

 下手臂动作角度120deg.

 440mm

 545mm

θ

 340deg.

Z

 35mm

动作速度(MAX

X1X2

 1000mm/sec.

θ

 216deg/sec.

Z

 75mm/sec.

动作循环时间
1

X1X2

 1.1sec.

θ

 2.2sec.

Z

 1.1sec.

分解力

X

 0.001mm/pulse以下

θ

 0.001deg./pulse

Z

 0.001mm/pulse

重复位置精度2

 ±0.2mm

清洁度

 ISO Class 3 (ISO-14644)

动作压力范围

 大气压~10-6 pa

可搬运重量(包含手臂)

 0.7kg

周围温度

 真空侧:080  /大气侧:040

重量

 75kg

※1 各轴整体冲程所要时间。(是通过计算的理论值,不是保值。)

※2 20次的定位精度。包含lostmotion。(lostmotion:在任意一点上向正负方向定位时停止位置的差)
                晶圆搬运机械手(真空)
                                 Substrate Size                Arm Model
                Wafer                200~300mm

UTV-R2700H 
UTV-RS2600W
UTVW-R2800H pdf


(有生产实际)

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