达谊恒精密机械(常熟)有限公司
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UTV-R2700H
   详细介绍
2(3)轴圆柱坐标型
UTV-R2700H系列的特点
1 使用AC伺服马达,高精度,高速度。
2 紧凑型,小体积。
3 符合RoHs指令规定。
   参数详解 ※1
形号  UTV-R2700(H)  UTV-R2730(H)  UTV-R2750(H)
机器人形状  2(3)轴圆柱坐标型
动作范围 X轴  下手臂动作角度120deg.
 510mm  660mm  720mm
θ  340deg.
Z轴  20mm
动作速度(MAX) X  下手臂动作角度421.92deg./sec.
 2504mm/sec.  3241mm/sec.  3535mm/sec.
θ  200deg/sec.
Z轴  (121mm/sec.)
动作循环时间※1 X  1.2sec.
θ  2.4sec.
Z轴  1.0sec.
分解力 X轴  下手臂动作角度0.001deg./pulse
0.0060mm/pulse以下  0.0077mm/pulse以下  0.0084mm/pulse以下
θ  0.001deg./pulse
Z轴  0.001mm/pulse
重复位置精度※2  ±0.1mm
清洁度  ISO Class 3 (ISO-14644)
动作压力范围  大气压~10-6 pa
可搬运重量(包含手臂)  0.7kg
周围温度  真空侧:0℃~80℃  /大气侧:0℃~40℃
自重 29kg(35kg)
1 各轴整体冲程所要时间。(是通过计算的理论值,不是保证值。)

2 20次的定位精度。包含lostmotion。(lostmotion:在任意一点上向正负方向定位时停止位置的差)
                晶圆搬运机械手(真空)
                                 Substrate Size                Arm Model
                Wafer                200~300mm

UTV-R2700H 
UTV-RS2600W
UTVW-R2800H pdf


(有生产实际)

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