达谊恒精密机械(常熟)有限公司
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UTW-REH5500
   详细介绍
UTW-REH5500i特点 
450WPH高速搬运

   参数详解 ※1

型号 Model UTW-REH5500
机械手臂形状 Robot Type

 4轴圆坐标型

 4 axis Cylindrical Coordinate 

动作范围

Operation Range

X, A-axis  500mm
θ-axis 340°
Z-axis  300mm

最大动作速度

Max. Operation Speed

X, A-axis  1800mm/sec
θ-axis  360°/sec
Z-axis  500mm/sec

动作时间

Cycle Time


X, A-axis
 0.5sec/mm
θ-axis 1.2sec/340°
Z-axis  0.8sec/300mm
往复位置精度 Repeatability XYZ方向:各±0.1mm
XYZ direction ±0.1mm each
可搬运重量 Payload  0.5kg/arm (含手爪   Including E/E)
洁净度 Cleanliness  ISO Class 3 (ISO-14644)
本体重量 Mass  32kg
必要设施 Facilities 真空 Vacuum  -80kPag or less, 10NL/min
电源 Power  3 Phases 200-230±10% VAC 15A
设置环境 Environment 温度 Temperature  0-40℃
湿度 Humidity 70% or less (No condensation)
※1 追加选配的情况下,搬运性能与标准不一样。

               晶圆搬运机械手(大气)
                                  Substrate Size               Arm Model                   Aligner Model          
                Wafer                 ~200mm UTC-R800pdf OFH-4102
                ~300mm

UT-AFX3000NMpdf
UTM-R3700F 

OFH-4100
EG-303 

(有生产实际)

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