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UTX-RF5500RP
   详细介绍
UTX-RF5500RPi特点 
1搭载伯努力手爪,可搬运50μm以上的簿型Wafer

   参数详解 ※1

型号 Model  UTX-RF5500RP
机械手形状 Robot Type  4-axis Cylindrical Coordinate

动作范围

Operation Range

X, A-axis  500mm
θ-axis 340°
Z-axis  300mm
R-axis 183°

最大动作速度

Max. Operation Speed

X1, X2-axis  800mm/sec
θ-axis  200°/sec
Z-axis  200mm/sec
R-axis  180°/sec
动作时间        
Cycle Time
X1, X2-axis  1.3sec/500mm
θ-axis 2.5sec/340°
Z-axis  2.0sec/300mm
R-axis  2.0sec/180°
往复位置精度 Repeatability XYZ方向:各±0.1mm, R軸±0.1°
XYZ direction ±0.1mm each, R-axis ±0.1°
可搬运重量 Payload  0.5kg/arm (含手爪 Including E/E)
洁净度 Cleanliness  ISO Class 3 (ISO-14644)
本体重量 Mass  33kg
必要设施 Facilities 空气 Air  0.4-0.7MPaG, 200L/min
電源 Power  100-115±10% VAC, 50/60Hz, 5A
设置环境 Environment 温度 Temperature  0-40℃
湿度 Humidity 20-70% (无结露)(No condensation)
※1 追加选配的情况下,搬运性能与标准不一样。

               晶圆搬运机械手(大气)
                                  Substrate Size               Arm Model                   Aligner Model          
                Wafer                 ~200mm UTC-R800pdf OFH-4102
                ~300mm

UT-AFX3000NMpdf
UTM-R3700F 

OFH-4100
EG-303 

(有生产实际)

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