达谊恒精密机械(常熟)有限公司
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UTX-RF5501RW
   详细介绍
UTX-RF5501RWi特点 
1实现了IP64的保护等级,在有水分的工序也可使用
2标准搭载Wafer反转机构

   参数详解 ※1

型号 Model  UTX-RF5501RW  UTW-RF5501RW
机械手臂形状 Robot Type  3-axis Cylindrical Coordinate  4-axis Cylindrical Coordinate

动作范围

Operation Range

X, A-axis  500mm
θ-axis  340°
Z-axis  300mm
R-axis  180°

最大动作速度

Max. Operation Speed

X1, X2-axis  800mm/sec
θ-axis  130°/sec
Z-axis  200mm/sec
R-axis  150°/sec

动作时间   

Cycle Time  


X1, X2-axis
 1.6sec/500mm
θ-axis  3.2sec/340°
Z-axis  2.5sec/300mm
R-axis  2.0sec/180°
往复位置精度 Repeatability

 XYZ方向:各±0.1mm

 XYZ direction ±0.1mm each 

可搬运重量 Payload  1.5kg/arm (含手爪 ・手爪基础)(Including E/E, E/E base)
洁净度 Cleanliness  ISO Class 4 (ISO-14644)
本体重量 Mass  32kg  40kg
必要设施 Facilities 空压(夹持用) Clamp air  0.25-0.3MPaG

空压(防止结露・机器内部加压用)

Internal pressure application and

 condensation prevention

 0.05MPaG
电源 Power  100-115±10% VAC, 50/60Hz, 5A
设置环境 Environment 温度 Temperature  0-40℃
湿度 Humidity  20-70% (无结露)(No condensation)
※1 追加选配的情况下,搬运性能与标准不一样。

               晶圆搬运机械手(大气)
                                  Substrate Size               Arm Model                   Aligner Model          
                Wafer                 ~200mm UTC-R800pdf OFH-4102
                ~300mm

UT-AFX3000NMpdf
UTM-R3700F 

OFH-4100
EG-303 

(有生产实际)

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