达谊恒精密机械(常熟)有限公司
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UT-AFX3000NM
   详细介绍
UT-AFX3000NMi特点 
1搭载电力线通信技术的标准机械手臂
2各个部件的模块化,增加了选配便利性,缩短了交货周期

   参数详解 ※1

型号 Model  UT-AFX3000NM  UT-AFW3000NM
机械手臂形状 Robot Type  3-axis Cylindrical Coordinate  4-axis Cylindrical Coordinate

动作范围

Operation Range

X1, X2-axis  500mm
θ-axis  340°
Z-axis  300mm or 450mm

最大动作速度

Max. Operation Speed

X1, X2-axis  1000mm/sec
θ-axis  200°/sec
Z-axis  250mm/sec
动作时间     
Cycle Time
X1, X2-axis
 1.0sec/500mm
θ-axis  2.2sec/340°
Z-axis  1.5sec/300mm, 2.1sec/450mm
往复位置精度 Repeatability

 XYZ方向:各±0.1mm

 XYZ direction ±0.1mm each 

可搬运重量 Payload  0.5kg/arm (含手爪 Including E/E)
洁净度 Cleanliness  ISO Class 1 (ISO-14644)
本体重量 Mass  30kg  32kg
必要设施 Facilities

真空(吸付用)

Vacuum(for adsorption) 

 -80kPaG or less, 10NL/min

真空(机器内部排气用)

Vacuum(for Purging)

 -80kPaG or less, 60NL/min
电源 Power  3-phase 200-230±10% VAC, 50/60Hz, 5A
设置环境 Environment 温度 Temperature  5-45℃
湿度 Humidity  20-70% (无结露)(No condensation)
※1 追加选配的情况下,搬运性能与标准不一样。

               晶圆搬运机械手(大气)
                                  Substrate Size               Arm Model                   Aligner Model          
                Wafer                 ~200mm UTC-R800pdf OFH-4102
                ~300mm

UT-AFX3000NMpdf
UTM-R3700F 

OFH-4100
EG-303 

(有生产实际)

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