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OFH-4102i
   详细介绍
OFH-4102i特点
1能够检测出晶圆外沿宽度1.0mm×0.2mm以上的缺口·毛刺
2作为「OFH-4102」的可选项,「晶圆外沿缺口检测」功能可以后期追加
3符合RoHs指令规定

   参数详解 ※1

被搬运物体 以SEMI规格为准的带有定位平面的石英晶圆
使用规格:4、5、6、8英寸晶圆
晶圆拿持方法 晶圆底面的真空吸附
材质 本体:白色耐蚀、耐酸铝
连接器板:SUS
吸附BASE:Aluminum(铁氟龙涂层)
边缘缺陷
检出功能
最小检出尺寸 能够检测出晶圆外沿宽度1.0mm×深度0.2mm以上的缺口·毛刺
能够检测的范围 晶圆外沿
检测时的晶圆
偏心的允许值
半径7mm以内
平面定位校准时间
(包括中心定位)
4.1sec
(包括检测时间)
轴构成 X轴:前后轴、Y轴:左右轴、θ轴:旋转轴
动作范围 X轴 ±7.5mm
Y轴 65mm
θ轴 ENDLESS
定位精度 X轴、Y轴 ±0.1mm
θ轴 ±0.2°
控制方法 串联通信(RS-232C)
并联通信(序列控制)
清洁度 ISO Class3(ISO-14644)
本体重量 约8kg
必要诸元 真空:GAUGE压力 -80kPa一下
电源:DV24V、3A以下
周围湿度 60%RH以下,无水珠
周围温度 ﹢15~25℃

               晶圆搬运机械手(大气)
                                  Substrate Size               Arm Model                   Aligner Model          
                Wafer                 ~200mm UTC-R800pdf OFH-4102
                ~300mm

UT-AFX3000NMpdf
UTM-R3700F 

OFH-4100
EG-303 

(有生产实际)

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