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UTM-R3700F
   详细介绍
UTM-R3700F系列的特点
1因为没有robot silder轴,可以访问4个FOUP。
2实现了部品的彻底重新更换速度比旧机型快1.5倍。
3采用了新型控制器,比旧机型小40%。
4对应RoHS指令。
   参数详解 ※1
robot型号 Model UTM-R3700F
robot形状 Robot Type 6轴水平·垂直间接型 6-axis articulated system
动作范围 Operation Range X, A-axis 590mm
θ-axis 330deg.
Z-axis 310-703.8mm
Y-axis ±767.5mm
最高动作速度 Max. Operation Speed X, A-axis 1600mm/sec
θ-axis 540deg/sec
Z-axis 1500mm/sec
Y-axis 1500mm/sec
分解力 Resolution X, A-axis 0.001mm/pulse
θ-axis 0.001deg/pulse
Y-axis 0.001mm/pulse
Z-axis 0.001mm/pulse
重复位置精度 Repeatability ±0.1mm
清洁度 Cleanliness ISO Class 3 (ISO-14644)
必要条件 Facilities 电源 Power  3 Phases 200 VAC 20A
真空 Vacuum -80kPa or less, 15NL/min
压空(可选择)
CDA (Optional)
0.3-0.6MPa
可搬运重量(含hand) Payload (including E/E) 0.5kg/arm
周围环境 Environment 温度 Temperature 0-40deg.C
湿度 Humidity 70% or less (No condensation)
本体质量 Mass Approx. 74kg

*1 Repeatability of 100 cycles operation including the CW and CCW approaches.

               晶圆搬运机械手(大气)
                                  Substrate Size               Arm Model                   Aligner Model          
                Wafer                 ~200mm UTC-R800pdf OFH-4102
                ~300mm

UT-AFX3000NMpdf
UTM-R3700F 

OFH-4100
EG-303 

(有生产实际)

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